Forschungsvereinigung Räumliche Elektronische Baugruppen 3-D MID e.V.
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Institut für Mikroproduktionstechnik: Neues Mitglied bei 3-D MID e.V.

Im August 2019 ist das Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) als neues Mitglied der Forschungsvereinigung Räumliche Elektronische Baugruppen (3D-MID) e.V. beigetreten. Seit nunmehr 15 Jahren erforscht das IMPT am Standort des Produktionstechnisches Zentrum (PZH) Prozesse für die Herstellung von Mikrosystemen. Ein besonderer Fokus ergibt sich durch die Verknüpfung mit den anderen Instituten des PZH, die spezielle Anforderungen an integrierbare Mikrosysteme in produktionstechnische Anlagen stellen. Insbesondere im Umfeld der zunehmenden Digitalisierung und dem Themenschwerpunkt Industrie 4.0 ergeben sich hier Herausforderungen, spezifische Messaufgaben erfüllen zu können. Neben der Systemintegration werden auch Fragestellungen adressiert, die sich mit der kostengünstigen Fertigung von Mikrosystemen außerhalb von kostenintensiven Reinräumen befassen. Damit sollen Wege aufgezeigt werden, wie klein- und mittelständische Unternehmen in die Lage versetzt werden können, Mikrosystemtechnik zu betreiben.

Im Rahmen der Aktivitäten im Netzwerk 3-D MID e.V. möchte das Institut die Möglichkeiten des Spritzgusses von LDS-fähigen Thermoplasten in Kombination mit Dünnfilmtechnik zur Entwicklung von hochintegrierten Sensoren und passiven Bauelementen, wie bspw. Induktivitäten, nutzen. Dabei sollen Funktionen aus dem Backend-Prozess der Waferfertigung zu Beginn der Prozesskette integriert werden. „Die Kombination von Fertigungsprozessen mit unserer Technologie ermöglicht uns immer wieder eine neue Sichtweise bei der Herstellung von Mikrosystemen.“

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